Nước siêu tinh khiết (UPW) là nước đã được tinh chế theo các thông số kỹ thuật rất nghiêm ngặt, chỉ chứa định nghĩa H 2 0 và các ion H + và OH – ở trạng thái cân bằng. Do đó, độ dẫn nước siêu tinh khiết là khoảng 0,055 uS / cm ở 25 o C, cũng được biểu thị bằng điện trở suất là 18,2 MOhm.
Ứng dụng chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và dược phẩm.Thường được sản xuất thông qua quy trình như lọc màng hoặc trao đổi ion để đạt độ dẫn tối đa 10 uS / cm.
